电子背散射衍射（EBSD）
仪器描述：电子背散射衍射，简称EBSD，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。常应用于多种多晶体材料——工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石——以研究各种现象，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能（成型性、磁性等）、界面性能（腐蚀、裂纹、热裂等）、相鉴定等。
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· 内容简介
EBSD具体分析功能：
1，微观组织分析：晶粒尺寸、均匀性、孪晶的体积分数、再结晶晶粒以及亚晶、晶界特性分析、相鉴定、相分布等；
2，取向分析：相邻晶粒的取向分析，晶粒和相邻孪晶的取向分析，孪晶以及相邻孪晶的取向分析，织构分析，取向差分析等。
· 结果展示
· 样品要求
1，可以直接做EBSD数据采集的样品的基本要求：样品能产生计算机可以识别且能正确标定的菊池衍射花样、表面平整、清洁、无残余应力、导电性良好、尺寸合适，数据采集处理需提供样品中各相的物相以及晶体结构及原子占位信息，元素种类等，以及晶体学信息：晶体学数据库，ICCD，或者皮尔斯手册，再就是XRD标定用的PDF卡片里面。若不符合直接测试要求，需要选择合适的制样方法。
2，样品尺寸要求：形状规整，尺寸不易太大，长：<8mm，宽<8mm，厚度<3mm左右，测试面需要表面光滑，没有明显划痕。若尺寸较大，请提前线切割好，若需要我们线切割，请联系科兴工作人员。