CT是一种非侵入性和非破坏性成像技术，在不破坏样品的情况下，利用X射线对物体进行扫描，能够获得样品内部三维结构和形貌信息。纳米、微米CT适用于小尺寸样品高分辨率的检测，分辨率和样品尺寸的对应关系见下表；工业CT适合大尺寸样品检测，320kV强力的微焦点射线源，拥有优秀的解析度与精度，适用于高密度的大型工业样品检测，5轴马达载物台台最大可放置质量100kg的样品。

分辨率：指像素点的大小，比如200nm分辨率，就是图片中一个像素点的大小是边长200nm的正方形；假设想要看到的最小特征尺寸是“x µm”，需要使用至少 “0.5x µm”分辨率。

样品尺寸：样品尺寸越大，能做的分辨率就越低。