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辉光放电光谱
1.测量时显示时间-强度曲线,是客观的,客观体现随溅射时间的增加元素强度的变化;
2.测量后根据校准曲线拟合转换成深度-百分含量曲线;
3.本数据用ORIGIN直接导入即可,出现很多纵坐标,Y轴即为对应元素,选择需要的元素作图即可(数据中可能出现“Fi”的数据列为仪器参数请忽略)
辉光放电质谱:
可得到元素定量数据。
GDOES:
GDMS: