我的位置:
a. n(折射率),k(消光系数)值
b. 膜厚
常规椭偏仪的光谱测试范围370到1000nm,其他范围请咨询项目经理15210724833
膜厚的测试范围是0.5nm-10um。
一般格式及数据处理如下说明(仅供参考,具体以实际测试为准,不同仪器会有差异):
测试结果给出的是图片格式和txt格式测试结果。文本格式文件可以用EXCEL打开,Origin软件作图。