XPS测试注意事项

1. XPS可以做的项目：常规全谱窄谱测试、俄歇谱、价带谱、深度溅射、MAPPING、角分辨

2. XPS测试的元素范围是Li-Cm，H、He元素不能测试，放射性元素请提前沟通

3. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号

4. 无特殊说明，默认是使用单色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV

5. 使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况，解决方法是a.通过分峰拟合（这个是数据分析的内容）后再重新定量，b.测试其他轨道的峰，需要备注相应的轨道，默认是测试最强峰，c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠，建议可以更换靶材试试，比如Mg靶

常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。

6. XPS测试数据提供原始数据，全谱图谱，无元素分析，精细谱不做任何矫正，不同材料的矫正方法不同，可以提供矫正操作的视频，链接

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7. 深度溅射案例分享：https://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzIyODc3ODI1Mw==&mid=2247511813&idx=1&sn=660de5f5c7efaef34205c700c006198c&chksm=e84e2767df39ae717f80b2c75db4ed40c9d81f6f8d172a2e4d80664b2a1233020eb4f79988cd&mpshare=1&scene=1&srcid=0228AxPrv9GcWdf306fcVWZL&sharer_sharetime=1646126713973&sharer_shareid=24fe330ef3b2cbbd7d58200c50c9bc11&version=4.0.0.6023&platform=win#rd

（1）Thermo Scientific K-Alpha是相对常用的设备，其结果如下：

测试结果给出的是VGD格式和EXCEL格式测试结果。EXCEl格式文件用ORIGIN软件作图；VGD格式文件可以用Avantage分析软件打开。

（2）PHI的格式如下：

测试结果给出的是原始文件SPE格式和EXCEL格式。EXCEL格式文件用Origin软件作图；SPE格式需要软件Multipak打开（但定量需要注意灵敏度因子)。

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