a. 粉末，溶液，块状样品的表面形貌，厚度，粗糙度测试

b. 生物/纤维样品的表面形貌

c. 相图

d.  PFM（压电力显微镜）, EFM（静电力显微镜）, KPFM（表面电势）, MFM（磁力显微镜）, C-AFM/PeakForce TUNA（导电力显微镜），杨氏模量/模量分布，力曲线，液下，变温等特殊模式。

更多测试要求请咨询工作人员;

不同型号仪器结果形式会有差别，下面展示的是Bruker Dimension ICON型号AFM的结果，仅供参考。

1、表面形貌和表面粗糙度

    AFM可以对样品表面形态、纳米结构、链构象等方面进行研究，获得纳米颗粒尺寸，孔径，材料表面粗糙度，材料表面缺陷等信息，同时还能做表面结构形貌跟踪（随时间，温度等条件变化）。也可对样品的形貌进行丰富的三维模拟显示，使图像更适合于人的直观视觉。下图表征的是纳米颗粒的二维几何形貌图，三维高度形貌图以及粗糙度。

2、精准定位如：纳米片厚度/台阶高度

    什么是精准定位？就是需要花时间去一点点找这个地方。

    在半导体加工过程中通常需要测量高纵比结构，像沟槽和台阶，以确定刻蚀的深度和宽度。这些在SEM 下只有将样品沿截面切开才能测量，AFM 可以对其进行无损的测量。AFM在垂直方向的分辨率约为0.1 nm，因此可以很好的用于表征纳米片厚度。下图表征的是台阶高度和纳米片厚度图。

3、相图

    作为轻敲模式的一项重要的扩展技术，相位模式是通过检测驱动微悬臂探针振动的信号源的相位角与微悬臂探针实际振动的相位角之差（即两者的相移）的变化来成像。引起该相移的因素很多，如样品的组分、硬度、粘弹性质，模量等。简单来说，如果两种材料从AFM形貌上来说，对比度比较小，但你又非常想说明这是在什么膜上长的另外一种，这个时候可以利用二维形貌图+相图来说明（前提是两种材料的物理特性较为不同，相图有明显对比信号才行）。

布鲁克AFM仪器的测试原始文件.spm格式可用布鲁克离线软件Nanoscope analysis软件打开。

1. 样品状态：可为粉末、块体、薄膜样品；

2. 粉末样品：颗粒一般不超过5微米，提供20mg，液体不少于1ml，尺寸过大请提前咨询客户经理；

3. 粉末/液体样品请务必备注好制样条件，包括分散液，超声时间及配制浓度；

4. 薄膜或块状样品尺寸要求：长宽0.5-3cm之间，厚度0.1-1cm之间，表面粗糙度不超过5um，一定要标明测试面！

5. 测试压电、表面电势的材料需要将样品制备在导电基底上，基底大小大于0.5*0.5cm。其他问题请咨询科兴工作人员。