电子背散射衍射（EBSD）是什么？-科兴测试平台

电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的技术，可以对样品的微观组织进行分析、可视化和定量。 虽然这种技术最常见的缩写是EBSD，但有时称为“EBSP”（严格意义上讲，这是指电子背散射衍射花样）或“BKD”（背散射菊池衍射）。 本网站主要介绍EBSD的原理，重点介绍使用 EBSD 和相关技术的方法，涵盖EBSD 的主要应用，并提供有用的信息来帮助研究人员使用EBSD系统及解释他们的研究成果。下面向您介绍了EBSD技术的几个方面内容。 EBSD的用途： EBSD是SEM的成熟附件，用于表征微观组织。EBSD采集的数据是呈空间分布的，可以用面分布图和图像来显示，从而可以详细检查不同样品的局部特征。EBSD 是一种高度自动化的技术，现代的商业系统能够每秒分析数千个衍射花样：这使得利用高空间分辨率扫描样品表面，采集所有需要的数据，来进行整体的微观组织表征成为可能。 当电子束轰击到样品表面时，EBSD 提供了轰击处样品详细的晶体学性质信息；ESBD通常与能谱仪（EDS）结合使用，可以补充分析测量样品的成分。因此集成了EBSD和EDS的测量系统，提供了更全面的微观组织表征，包括： 相鉴定 相分布 晶粒尺寸数据 晶界表征 织构（晶体择优取向的程度） 局部应变变化 EBSD如何工作？ EBSD工作时，稳定的电子束与倾斜的晶态样品相互作用，产生的衍射电子形成衍射花样，可以用荧光屏检测到（详情请参阅EBSD 花样形成页面）。在电子束与样品相互作用的点（或体积）位置上，衍射花样携带了样品的晶体结构和取向的特征。因此衍射花样可以用来确定晶体取向，区分晶体学上的不同相，表征晶界，并提供局部晶格完整性的信息。 当电子束以网格形式在多晶样品上扫描时，可以测量每一点上晶体的取向，得到的面分布图揭示了晶粒的形态，取向和晶界。这些数据也可以用来显示样品中的晶体择优取向（即织构）。因此，EBSD可以很容易地建立一个完整的和定量的微观组织表征。 科兴测试平台可做电子背散射衍射（EBSD），可进行空间分辨率亚微米级的衍射，测试价格700元/时起。