高真空蒸发镀膜仪是将待镀膜的基材或工件置于真空室中，通过加热使镀层材料蒸发汽化沉积在基材或工件表面，形成薄膜或涂层的工艺。通过加热蒸发一种物质，使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜。热蒸发镀膜技术是最古老的镀膜技术之一。热蒸发镀膜机主要用于碳蒸发，采用超纯碳纤维绳为严格的高分辨率扫描电镜、透射电镜、EBSD和探针分析提供高质量的涂层处理。由于碳原子可以直接沉积在样品表面而无需横向移动，因此碳可以形成小于1nm的颗粒。

  高真空蒸发镀膜仪适用范围：电子显微镜样品制备和清洁灯条，以及科研、教学和企业实验活动、工艺测试。采用大抽速、高压缩比、自然风冷却复合分子泵，保证电镀过程中蒸发源和样品排出的气体能被快速抽出；正常情况下，电镀室几乎没有油汽回流，非常干净。