三维形貌轮廓仪
三维形貌轮廓仪主要用于自动测量样品的二维、三维表面形貌、表面粗糙度、关键尺寸（包括高度、孔洞深度、长度等）、关键部位的面积和体积等所有的ISO表面参数。样品粗糙度测量。
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激光共聚焦扫描显微镜（CLSM）
Confocal 利用放置在光源后的照明针孔和放置在检测器前的探测针孔实现点照明和点探测，来自光源的光通过照明针孔发射出的光聚焦在样品焦平面的某个点上，该点所发射的荧光成像在探测针孔上，该点以外的任何发射光均被探测针孔阻挡。照明针孔与探测针孔对被照射点或被探测点来说是共轭的，因此被探测点即共焦点，被探测点所在的平面即共焦平面。计算机以像点的方式将被探测点显示在计算机屏幕上，为了产生一幅完整的图像，由光路中的扫描系统在样品焦平面上扫描，从而产生一幅完整的共焦图像。只要载物台沿着Z轴上下移动，将样品新的一个层
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偏光热台显微镜（POM）
热台偏光显微镜是一种用于化学、材料科学领域的分析仪器，常用于高聚物熔融和结晶过程中形态观察；结晶速率及动力学计算；观察双折射体的光学效应；微生物形貌观察；组织细胞核、壁形态观察；地质材料偏光形态观察；无机晶体材料观察与评价。
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轮廓仪（台阶仪）
轮廓仪是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，是接触测量。其主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果可靠、操作方便。
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原子力显微镜（AFM）
原子力显微镜（AFM），一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质，以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。
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